角形硅微粉是用硅微粉原材料經研磨而得到的外形無規矩多呈棱角狀的硅微粉。角形硅微粉依據其原材料的不同又分為角形結晶硅微粉和角形熔融硅微粉。

角形硅微粉的首要出產設備有球磨機、振蕩磨、微粉分級機和烘干機。下面別離簡明介紹其作業原理。

球磨機：可所以干法也可所以濕法研磨物料。當球磨機作業時，磨礦介質與物料一起被提升到必定高度后下落，如此重復進行，處于磨礦介質之間及磨礦介質與磨機桶壁之間的物料受到沖擊和物料在磨礦介質的翻滾、滑動進程中被研磨成細粉。

振蕩磨：運用磨礦介質受磨機的振蕩效果，在磨機腔體內滑動、翻滾而對物料進行研磨。微粉分級機的分級原理是：物料被風機抽吸到分級室內，在高速作業的分級轉子和分級葉片之間被分級；粗物料沿分級筒壁而下，從底部粗粉出口排出；細粉則隨氣流穿過轉子葉片的間隙由上部細粉出口排出，從而抵達分級的意圖。烘干機：為了確保硅微粉極低的含水率和在單調時不受污染以及進步出產功率、節約能源而選用空心軸攪拌烘干機，其作業原理是：物料從進料口進入烘干機內，由空心槳葉運送至出料口出料；物料在被運送進程中，受空心槳葉攪拌并由空心槳葉和機體夾套一起加熱，水分被蒸騰而烘干。含水量在15%～20%的物料，單調后水分可操控在0.05%以下。

角形硅微粉出產工藝有干法研磨和濕法研磨兩種。干法研磨出產工藝：是將硅微粉材料放進球磨機或振蕩磨中研磨，該研磨工藝能夠接連進料和出料，也能夠一次投入若干重量材料，接連研磨若干時間后出料；出料時要通過微粉分級機操控粒度，粗的產品回來磨機再磨或作為產品，細的則是產品。干法研磨要嚴厲操控入磨物料水分，產品不再單調。工藝流程見圖1。

濕法研磨出產工藝：是將若干重量硅微粉材料一次投入球磨機中，參加適量的水，作業濃度在65%～80%；接連研磨十幾個小時后，倒出料漿，用壓濾辦法或放在料桶內天然堆積脫水，得到含水料餅；用打碎機打碎松散后均勻接連地投到空心軸攪拌烘干機中，單調后得到產品。工藝流程見圖2。

無論是干法研磨仍是濕法研磨，磨機中還應參加幾種直徑按要求配比的磨球，又稱磨礦介質。依據進料粒度大小和產品粒度要求，磨礦介質的直徑和配比是不同的，研磨時間也是不同的。為了避免物料在研磨時被污染，運用的磨礦介質應是非金屬材料如氧化鋁陶瓷球或硅石；磨機的桶體內也有必要襯高強度耐磨材料如氧化鋁陶瓷、硅石或聚氨脂橡膠

球形硅微粉首要用于大規劃、超大規劃和特大規劃集成電路的封裝上。

現在國外球形硅微粉的出產有：高溫熔融噴射法、氣體火焰法、液相中操控正硅酸乙脂、四氯化硅的水解法等工藝。近年來，國內多家科研單位和企業都在進行球形硅微粉的研討作業，但大都處于試驗室研討階段，沒有真正進入產業化階段。

行球形硅微粉的研制作業，并建立了中試試驗室，選用的是氣體焚燒火焰成球法，簡介如下。

粉料定量運送體系、燃氣量操控和混合設備、氣體燃料高溫火焰噴槍、冷卻收回設備，下面別離簡明介紹其作業原理。

燃氣量操控和混合設備：可依據火焰溫度、火焰長度和剛度調理、操控燃氣量和助燃氣體量，并將燃氣與助燃氣體充沛混合后送到高溫火焰噴槍。

冷卻收回設備：將已被熔融且松散的高溫球形硅微粉，迅速冷卻避免呈現析晶現象，并將冷卻后的球形硅微粉在收集器中收回。